ASM Lythography, producent van machines voor de chipindustrie, heeft gisteren een belangrijke opdracht in de acht gesleept. White Oak Semiconductor koopt enkele systemen van ASML, die elk voor ƒ16,5 miljoen in de catalogus staan.

"Maar wat veel belangrijker is, is dat White Oak nog geen klant van ons was. En White Oak is een joint venture van Motorola en Infineon, de maatschappij waarin Siemens haar halfgeleideractiviteiten heeft ondergebracht", aldus een woordvoerder van ASML. White Oak kocht tot nu toe voornamelijk machines bij Canon. Infineon gaat volgend jaar als aparte onderneming naar de beurs, maar Siemens houdt voorlopig de meerderheid van de aandelen.

White Oak heeft "meer dan twee" systemen van het type PAS 500/700 deep UV Step & Scan besteld waarmee schijven silicium kunnen worden voorzien van een ragfijn patroon. Daaruit worden dan weer de chips gesneden. "Met deze machines kunnen 0,15 micron dunne lijnen worden aangebracht op de schijven. Het zijn de modernste machines die wij leveren. Dit jaar hebben we er alleen al in de eerste zes maanden tien van afgeleverd", meldde ASML bij monde van de woordvoerder.

Volgens hem hebben de concurrenten van ASML deze machines nog niet op de markt. "Nikon heeft eerder aangekondigd en september met de levering van een vergelijkbaar apparaat te beginnen, maar inmiddels is dat uitgesteld tot volgend voorjaar."

White Oak gebruikt de machines om de productiecapaciteit uit te breiden. De fabriek in Richmond werd in april vorig jaar geopend. Er is een bedrag van $1,5 miljard in geïnvesteerd.